Produse

Mașină automată de lustruire chimică mecanică

Mașină automată de lustruire chimică mecanică

Mașina automată de lustruire chimică mecanică efectuează un singur - lustruire mecanică chimică (CMP) pe materiale fragile dure, inclusiv sub-8-inch Si CMP, CMP de oxid (BPSG, TEOS, THOX), metal CMP (W, Cu), filme dieelectrice și aplicații STI (izolare a suferinței.

Funcţia

Aplicație

 

Mașina automată de lustruire chimică mecanică efectuează un singur - lustruire mecanică chimică cu față (CMP) pe materiale fragile dure, inclusiv sub - 8 - inch Si cmp, oxid CMP (BPSG, TEOS, THOX), metal CMP (W, CU), filme dielectric. Acest sistem CMP complet automatizat oferă, de asemenea, o precizie ridicată -, lustruire cu eficiență ridicată pentru suprafețe plane paralele ale napolitanelor de safir, napolitane de germaniu, niobat de litiu și substraturi de sticlă.

 

Mașină automată de lustruire chimică mecanică

 

SAP200-4H2P-FA

Numărul modelului

SAP200 - 4H2P-FA

disc de lustruire

Diametru

Φ510mm (20 '')

Număr

2

Viteză mai mică a discului

0-200rpm

Cap de lustruire

Prelucrarea pieselor de lucru

6''/8''

Metoda de presurizare

Airbag Funcție de presiune flexibilă din spate (presiune cu 3 zone)

viteză

0-200rpm

Număr

4

Indicele de precizie

Capătul inferior sare

Mai puțin sau egal cu 0,01mm

Flatitatea plăcii inferioare

Mai puțin sau egal cu 0,008mm

Dimensiunea echipamentului (L * W * H)

3640mm × 2400 mm × 2600 mm

Greutatea dispozitivului

10000 kg

 

Tag-uri populare: Mașină automată de lustruire chimică mecanică, China Producători automate mecanice de lustruire a produselor chimice, furnizori, fabrică

S-ar putea sa-ti placa si

(0/10)

clearall